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日本OTSUKA大塚电子显微涂层测厚仪OPTM-A1

日期：2025-06-15 23:59

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摘要：日本OTSUKA大塚电子显微涂层测厚仪OPTM-A1

OPTM 是一种通过使用显微光谱测量微小区域的**反射率来实现高精度薄膜厚度和光学常数分析的设备。
它可以以非破坏性和非接触的方式测量各种薄膜、晶圆和光学材料等镀膜以及多层薄膜的厚度。测量时间为 1 秒/点，属于高速测量。此外，它还配备了软件，即使是初次使用的用户也可以轻松分析光学常数。

类型 OPTM-A1 型 OPTM-A2 系列 OPTM-A3 系列

波长范围 230~800 纳米 360~1100 纳米 900~1600 纳米

厚度范围^*1 1 纳米~35 微米 7 纳米~49 微米 16 纳米~92 微米

样本量^*2 *大 200×200×17 毫米

光斑直径 φ5、φ10、φ20、φ40 微米

* 上述规格具有自动 XY 载物台。

*1 薄膜厚度范围为 SiO₂它将被转换。

*2 300 mm 载物台请单独联系我们。

类型	自动 XY 载物台型	固定框架类型	内置头型
尺寸（宽×深×高）	556×566×618 毫米	368×468×491 毫米	210×441×474 毫米 90×250×190 毫米^*
重量	66 千克	38 千克	23 公斤 4 公斤^*
*大功耗	AC100V±10V 500VA	AC100V±10V 400VA

*AC/DC 电源单元

配置图

OPTM 图（自动 XY 载物台型）
自动 XY 载物台型

OPTM （Embedded Head Type）的示意图
内置头型

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类型	OPTM-A1 型	OPTM-A2 系列	OPTM-A3 系列
波长范围	230~800 纳米	360~1100 纳米	900~1600 纳米
厚度范围^*1	1 纳米~35 微米	7 纳米~49 微米	16 纳米~92 微米
样本量^*2	*大 200×200×17 毫米
光斑直径	φ5、φ10、φ20、φ40 微米