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日本OTSUKA大塚电子显微涂层测厚仪OPTM-A3
它可以以非破坏性和非接触的方式测量各种薄膜、晶圆和光学材料等镀膜以及多层薄膜的厚度。 测量时间为 1 秒/点，属于高速测量。 此外，它还配备了软件，即使是初次使用的用户也可以轻松分析光学常数。
* 上述规格具有自动 XY 载物台。
*1 薄膜厚度范围为 SiO2它将被转换。
*2 300 mm 载物台请单独联系我们。
*AC/DC 电源单元
类型
OPTM-A1 型
OPTM-A2 系列
OPTM-A3 系列
波长范围
230~800 纳米
360~1100 纳米
900~1600 纳米
厚度范围*1
1 纳米~35 微米
7 纳米~49 微米
16 纳米~92 微米
样本量*2
*大 200×200×17 毫米
光斑直径
φ5、φ10、φ20、φ40 微米
类型
自动 XY 载物台型
固定框架类型
内置头型
尺寸（
宽×深×高）
556×566×618 毫米
368×468×491 毫米
210×441×474 毫米
90×250×190 毫米*
重量
66 千克
38 千克
23 公斤
4 公斤*
*大功耗
AC100V±10V 500VA
AC100V±10V 400VA
