产品详情
简单介绍：
检测对象
H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
检测浓度
1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
检测原理
专线型半导体式
采样方式
自动吸引式
应用行业
半导体制造
详情介绍：
产品描述：半导体材料气体检测
可检测微量的半导体材料气体泄漏，可对半导体工厂等使用毒性气体的场所进行泄漏检测，
也可对氢气相关设备提供**保障。
01.产品特点
· 小型·轻量
· 可以检查非常微量的气体泄漏
· 适合氢气相关设备的**防护
· 搭载的泵有自动停止功能
· 搭载[自动气体排气模式]功能
· 保护等级约为IP22（JIS C 0920）※安装皮套时
02.产品用途
· 半导体工厂/石油化学工厂等
· 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
03.产品参数
