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产品详情
简单介绍:
Fluoromechanic 小型真空泵的特点
我们的真空泵设计为在紧凑的机身中提供高真空压力。 产品阵容包括 FV-10、FV-30、FV-60 和 FV-XP 四种类型,活跃于半导体制造工厂、医疗设备应用和食品制造工艺等广泛市场。 ([带吸出功能的真空泵 FV-W] 非常适合输送微小物品,可与我们的真空镊成套使用。 点击这里了解详情)
紧凑且真空压力高
由于隔膜安装在封闭空间内,
详情介绍:
FV-60 系列



- 通过将隔膜安装在封闭空间内,压力分两阶段降低,并且由于它具有串联结构,我们实现了一种可以获得大约 FV-30 两倍的流量的机构。
- HEPA 过滤器安装在进气和排气部分。 它也可以用于洁净室。 此外,可以从主体的透明窗口看到过滤器,因此您可以知道何时更换它。
- 处理范围相当于硅片,限制为 12 英寸。
- 管子有 Φ3×5、Φ4×6 两种尺寸。
- 随附的管子为 Φ3×5。
法典 | FV-60 系列 |
名字 | 真空泵 FV-60 |
额定电压 | 交流-100V(50Hz) |
功耗 | 10.0 瓦 |
极限吸入压力 | -85kPa |
流量 | 2.5 升/分钟 |
大小 | 长 137 × 宽 88× 高 133 (mm) |
质量 | 1.250 克 |
续航时间 | 超过 9,000 小时 |
工作极限温度 | 40°C |
附属品 | 1 个 L 形接头/管 3×5 个 1m |
绘图 | 查看图纸 |
注 1:泵的流量和极限吸入压力值以 50 Hz 表示。 当在 60 Hz 下使用时,它减少了约 20%。
*此数据仅供日本国内使用。