日本COSMOS新宇宙固定式 PS-7气体检测仪器检测对象更换传感器，能够检测各种气体藤田（重庆）精密仪器设备有限公司

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产品名称：日本COSMOS新宇宙固定式 PS-7气体检测仪器
产品型号：检测对象更换传感器，能够检测各种气体
产品厂商：NEW COSMOS 新宇宙
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简单介绍：

PS-7 通过更换传感器单元可以检测多种气体检测对象更换传感器，能够检测各种气体检测范围根据规格而定检测原理根据规格而定检测方式泵吸引式应用行业石油化工、半导体制造等

详情介绍：

可通过PDA读取数据

01.产品特点

· 通过更换传感器就可以检测多种气体的半导体材料气体检测器

· 传感器经过校准和交付，无需现场气体校准。此外，无需工具即可轻松更换传感器

· 小巧·轻便的设计

· 通过LCD显示屏轻松了解气体浓度，报警状态和错误信息

· 采样流量的自动控制功能

· 当插入与设置不同的传感器时，传感器具有防止错误插入的功能

· 通过连接PDA，可以获取存储在检测单元中的数据

· 转换器单元（选件）可用于检测NF3等气体

· 符合CE标准

· 符合SEMI标准

02.连接方式

PS-7连接方式.jpg

03.产品参数

型号	PS-7
类型	标准型	附带转换器组件型
检测原理	定电位电解式、专线型半导体式、隔膜伽伐尼电池式	热分解+定电位电解式
检测方式	泵吸引式(0.5L/min吸引流量自动控制)
采样配管※1	特氟龙外径6内径4mm，配管距离在20m以内
气体浓度显示	液晶数字四位显示(附带单位)20分割条形图
报警接点
◆气体报警(1段以及2段)
·报警	: 红色液晶指示灯闪烁	: 液晶画面
		第1段:ALARM1
		第2段:ALARM1、ALARM2显示
◆流量降低报警
·堵塞指示显示	: 流量显示为低速运转
·报警	: 黄色LED指示灯闪烁	: 液晶画面 FLOW显示以及流量显示为停止运转状态
◆传感器故障报警/传感器误插入报警
·报警	: 黄色LED指示灯闪烁	: 液晶画面 SENS.显示
◆热分解炉断线报警※2
·报警	: 黄色LED指示灯闪烁	: 液晶画面CONV.显示
外部输出	·气体浓度模拟输出DC4~20mA(与电源的负极通用)
	·气体报警接点(1段以及2段)1a无电压接点/自动复位
	·故障报警接点(开路集电极/自动复位)
适用电缆线	控制用屏蔽电缆线(Ф8~11mm)x23芯或者4芯
使用温度湿度范围	0℃~40℃(但是，温度无剧烈变化)，30~85%RH(无结露现象)
电源	DC24V±10%
消耗电力	约7W	约10W
外形尺寸	W62xH124xD143mm(选购品和突出部分除外)
重量	约1.0kg
安装方法	壁挂式

※1.推荐使用特氟龙。但是如果是吸附性较强的气体时，根据使用情况的不同也将有所差异，因此，请向本公司进行咨询。产品有可能改进而对上述规格进行修改，对此恕不预先通知用户。

※2.**于附带转换器的产品

04.对应气体一览表

气体种类	满量程	检测原理	组件类型
SiH₄	5/25μmol/mol	定电位电解式	CDS-7
PH₃	1μmol/mol
B₂H₆	500nmol/mol
AsH₃	250nmol/mol
H₂Se	250nmol/mol
Si₂H₆	25μmol/mol
SiH₂Cl₂	25μmol/mol
GeH₄	1 μmol/mol
NH₃	100μmol/mol
HF	10μmol/mol
PF₃	10μmol/mol
HCl	5/25μmol/mol
HBr	10μmol/mol
F₂	5μmol/mol
CI₂	5μmol/mol
CIF₃	1μmol/mol
O₃	1μmol/mol
CO	250μmol/mol
H₂S	50μmol/mol
NF₃	100μmol/mol	定电位电解式(用于转换器单元)
CCI₄	100μmol/mol	定电位电解式(用于转换器单元)
H₂	500/1000μmol/mol	专线型半导体式	CHS-7
O₂	25vol%	伽伐尼电池式	COS-7

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