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产品详情
简单介绍:
产品信息
5822i型离子器鼓风机系统是一款高精度/高速脱能鼓风机,结合外部传感器保持+/-1伏的离子平衡,适用于严格的静电控制工艺。 紧凑型机身非常适合集成到硬盘和半导体制造工艺中的设备中。
详情介绍:
产品信息
5822i型离子器鼓风机系统是一款高精度/高速脱能鼓风机,结合外部传感器保持+/-1伏的离子平衡,适用于严格的静电控制工艺。 紧凑型机身非常适合集成到硬盘和半导体制造工艺中的设备中。
特色
■ 结合外部传感器实现
高精度的+/-1V离子平衡
(NOVX 3150/3350/3360/7000等)(无外部传感器+/-3V)
■独特的自动离子平衡控制,支持
更长的维护周期 ■高洁净度 ■
5802i、5810i、5822i型离子器鼓风机专为
无尘室应用设计。
ISO4类(联邦标准209E级10)合规的高洁净设计
■风扇速两级切换
■离子平衡可调
■风扇停止报警
规格
| 输入电压 | 24V DC 1A 类型电源,由附带电源供应 |
|---|---|
| 外观 | 不锈钢 |
| 离子生成方法 | 稳态直流系统 |
| 电极 | 每台鼓风机可装8块钨合金(钛合金,可选) |
| 空气体积 | 20.5cfm 类型风扇转速 = 高速 |
| 断电时间 | <2.5秒。 距离30厘米。1千伏→100伏。 |
| 离子平衡 | <+/-1V类型(带外接传感器) +/-3V(无外接传感器) |
| 尺寸 |
离子器鼓风机体 高度 115mm × 深度 61mm × 宽度 83mm |
| 重量 |
离子子鼓风机体 0.51kg 控制器盒 0.25kg |