日本SIMCO思美高超净环境/AeroBar 5635M MP离子器代理 AeroBar 5635M MP® 藤田（重庆）精密仪器设备有限公司

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产品名称：日本SIMCO思美高超净环境/AeroBar 5635M MP离子器代理
产品型号：AeroBar 5635M MP®
产品厂商：日本SIMCO思美高
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简单介绍：

规格输入电压输入：24伏直流±10%功率输入 RJ-45;0.7A（*大）输出：13.5 kV p-p（*大），可调退伍 ±1000-100V，15秒内，无气助，Vp-p在发射中心点组下方24英寸处摆动80 平衡 <±35v在受控环境下、距离18英寸测量 35="" 离子发射="" 调制脉冲（mp）技术="" 发射极="" iso="" 14644-1="" 一类单晶硅="" 无垢室类别="" 14644-1（0.1微米颗粒）和扩展iso="" 1级清洁度（10纳米颗粒或纳米颗粒），使用45-50%输出电压设定和配备单晶硅发射器的openjet喷嘴="" 尺寸="" 3.1英寸高="" x="" 1.3英寸宽="" 13.8="" 17.7="" 23.6="" 33.5="" 39.3="" 45.3="" 51.2="" 57.1="" 63.0="" 69.0="" 74.8="" 80.7="" 86.6="" 92.5英寸长="" （7.8="" 3.4="" <="" div="">

详情介绍：

带宽可调性及ISO 14644-12电离的调制脉冲技术

Simco-Ion技术集团的5635M AeroBar MP电离棒专门设计用于半导体及其他超洁净制造工艺中，这些工艺需要快速放电时间、低摆动电压和精密平衡，但不允许裸露金属表面。AeroBar采用MP技术，将高频正弦波与调制脉冲（MP）结合，实现高离子输出和传输。这一突破性技术使AeroBar能够安装在晶圆150毫米范围内。MP技术结合超洁净硅发射点和精密调节，实现ISO 14644-12电离（0.01微米颗粒或纳米颗粒）和ISO 14644 1类（0.1微米颗粒）的清洁度，这对小型技术节点至关重要。

ISO 14644-12（0.01微米颗粒）电离和
ISO 14644一类（0.1微米颗粒）清洁度
调制脉冲技术
无金属设计“M”
横向均匀性**
低场电压
空中助推能力
可选软件，界面易用且可调节性宽广
报警输出信号

产品名称：日本SIMCO思美高超净环境/AeroBar 5635M MP离子器代理

带宽可调性及ISO 14644-12电离的调制脉冲技术