日本SIMCO思美高AeroBar 5225电离系统® 5225型号带软件控制数字气动棒藤田（重庆）精密仪器设备有限公司

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产品名称：日本SIMCO思美高AeroBar 5225电离系统®
产品型号：5225型号带软件控制数字气动棒
产品厂商：日本SIMCO思美高
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简单介绍：

规格 AeroBar 5225 电压输入：24 VAC，50/60 Hz，1W（类型）;由接口模块型号5200-IM6T 供电，输出：0-20 kVDC，单个AeroBar的每个极性电压±10%;正负输出电平可以通过图形用户界面分别调整离子发射脉冲直流、稳态直流或待命发射极单晶硅，可更换无垢室类别 ISO 14644-1 一类（单晶硅发射体） ISO 14644-1 三类（钛发射体）尺寸 2.1英寸高 x 1.2英寸宽 x 22.4 / 28.4 / 35.7 / 44.4 / 55.6 / 64.4 / 75.5 / 84.4英寸长（5.3 x 3.1 x 56.9 / 72.1 / 90.7 / 112.8 / 141.2,163.6 / 191.8 / 214.4 厘米）重量 1.13磅（0.51公斤），22英寸（55.9厘米）杆（约每英尺6

详情介绍：

无尘室兼容高离子输出，实现快速中和

Simco-Ion技术集团的5225型号带软件控制数字气动棒设计用于应对工具内电离的高要求。通过高离子输出快速中和晶圆上的电荷，可以在*严格的水平下实现E78的合规性。

与刀具控制系统完全集成
每个AeroBar的参数可完全调节
离子电流监测
有多种长度可选，其中3种专为EFEM设计
单晶硅发射点

接口模块型号 5200-IM6T

支持*多6个AeroBar 5225型离子器，FMS输出。

产品名称：日本SIMCO思美高AeroBar 5225电离系统®

无尘室兼容高离子输出，实现快速中和