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产品详情
简单介绍:
规格
输入电压 24 VDC @ 1A,来自外部电源(100-240 VAC 50/60 Hz)或工具供电
退伍 从风扇中心直线测量时,介于2-2.5秒 @ 12英寸之间(±1000V-100V)
平衡 ±3V或更高;±1V与Novx系统
无垢室类别 ISO 14644-1 第四类
尺寸 风扇单元:4.57英寸高 x 3.27英寸宽 x 3.47英寸深(11.6 x 8.31 x 8.81厘米)
控制盒:1.0英寸高 x 5.2英寸宽 x 2.35英寸深(2.54 x 13.2 x 5.97厘米)
重量 鼓风机 1.14磅(0.51公斤);控制箱 0.56磅(0.25公斤)
详情介绍:
规格
| 输入电压 | 24 VDC @ 1A,来自外部电源(100-240 VAC 50/60 Hz)或工具供电 |
|---|---|
| 退伍 | 从风扇中心直线测量时,介于2-2.5秒 @ 12英寸之间(±1000V-100V) |
| 平衡 | ±3V或更高;±1V与Novx系统 |
| 无垢室类别 | ISO 14644-1 第四类 |
| 尺寸 |
风扇单元:4.57英寸高 x 3.27英寸宽 x 3.47英寸深(11.6 x 8.31 x 8.81厘米) 控制盒:1.0英寸高 x 5.2英寸宽 x 2.35英寸深(2.54 x 13.2 x 5.97厘米) |
| 重量 | 鼓风机 1.14磅(0.51公斤);控制箱 0.56磅(0.25公斤) |
目标应用
5822i型设计用于控制静电放电和颗粒污染,适用于较小目标区域和/或工作台覆盖,尤其是在无尘室等关键环境中。模块化遥控控制盒的开发是为了容纳 工具足迹有限。控制盒连接可选的 Novx 工艺监测仪 7000 系列和 Novx 被动/主动场 电压检测系统 3350 系列/3360 系列及通用 FMS(设施监控系统)接口。
带控制器的紧凑型电离鼓风机
Simco-Ion技术集团的5822i鼓风机设计以满足自动化工艺工具中小尺寸离子器的需求,在硬盘制造和后端半导体环境中提供**性能。该离子器保持±3V或更好的平衡标准,并配备可选的外部反馈系统,可达**的±1V。内置的自动平衡校正系统确保目标准确电离,显著缩短校准和维护时间,从而节省成本。
- ±3V或更好的平衡(±Novx系统中的1V)
- 设施监控系统(FMS)连接与声音报警
- 独立控制箱
- 清洁度评级为ISO 14644 4级(联邦标准209e级10级)