产品详情
  • 产品名称:日本SIMCO思美高静电参数监测装置代理

  • 产品型号:静电感应与过程监测/Novx 7000系列
  • 产品厂商:日本SIMCO思美高
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简单介绍:
工作站和工艺环境中的关键静电参数监测 Simco-Ion技术集团的Novx系列7000过程监测系统是一款多用途微处理器仪器,用于监测工作站和工艺环境中的关键静电相关参数。六个专用通道可定制仪器,用于监测场电压检测/电离器平衡、静电干扰事件、体电压检测或接地监测及粒子计数。 智能信号处理 多种传感器和天线样式 可链式连接;RS-485 或以太网输出 静电检测事件跟踪 现场电压监测的三种选择 用户可编程的报警设置点,配备自动消息 闭环控制到工具计算机 插拔式模块允许出厂升级
详情介绍:

规格

场感  
输入电压 ±15 - ±5000V
输出电压 0 - ±5.0
准确性 ±1V用于<20V;±5%用于>20V;
静电事件检测 CDM / HBM
粒子计数器接口 数据采集
体压检测  
施加电压 <0.5V
准确性 ±0.5V
GND监测  
分布范围 1-20欧姆
施加电压 <0.5V
准确性 0.5欧姆
概述  
尺寸 2.7宽 x 7高 x 5.5深英寸(6.9 x 17.8 x 14厘米)
重量 2.5磅(1.4公斤)

目标市场

  • 电子制造
  • 生命科学
  • 后端半导体加工
  • 前端半导体加工
  • 平板显示器

目标应用

Novx 7000系统支持前端和后端半导体制造环境中对关键静电变量的监测。多功能传感能力和工业通信能力使实时监测与过程静电控制集成。作为静电事件、静电场、颗粒密度、人员和工作站接地以及控制电离器平衡和放电参数的通用工具,它还提升了FPD、磁盘驱动器和医疗制造应用中的监测应用。
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