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产品详情
简单介绍:
临界环境工具内电离鼓风机
Simco-Ion,技术集团的微系列鼓风机设计用于空间受限的先进关键环境工具应用。新的5941微型鼓风机设计紧凑,但在满足当前对先进自动化工艺工具的需求方面表现**。这款令人惊叹的紧凑型工具鼓风机仅4.33英寸(110毫米)高,3.15英寸(80毫米)宽,在半导体后端环境中表现出色。
±3V或更好的平衡
紧凑尺寸
清洁度评级为ISO 14644-1第三类
设施监控系统(FMS)连接
自动清洁系统
详情介绍:
规格
| 输入电压 | 24伏直流(±10%),*大6瓦 |
|---|---|
| 退伍 |
无准直器:<4秒 @ 12英寸(30.5厘米),类型 带准直器:<3秒 @ 12英寸(30.5厘米),类型 |
| 平衡 |
±3V或更高电压 @ 12英寸(30.5厘米) 警告 设定点:+3.5V(±0.5V),-3.5V(±0.5V) 报警设定点:+5.0V(±0.5V),-5.0V(±0.5V) |
| 无垢室类别 | ISO 14644-1 第三类 |
| 尺寸 |
无校直器时:4.33英寸高 x 3.15英寸宽 x 1.60英寸直径(11.0 x 8.00 x 4.06厘米),无支架 带准直器尺寸:4.33英寸高 x 3.15英寸宽 x 2.93英寸深(11.0 x 8.00 x 7.45厘米),无支架 |
| 重量 | 0.55磅(0.25公斤) |