产品详情
  • 产品名称:日本FLOURO 福乐硅片无接触输送机伯努利Chuck BC系列

  • 产品型号:防静电装置
  • 产品厂商:日本FLOURO 福乐
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简单介绍:
硅片无接触输送机伯努利Chuck BC系列的库存
详情介绍:

伯努利无接触输送机 查克

  • 弗洛罗机械公司
  • 产品信息
  • 伯努利无接触输送机 查克
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硅片无接触输送机伯努利Chuck BC系列的特点

晶圆非接触式输送机伯努利卡肩BC系列特性1 产品图片
  • 可选择三种手柄使用角度:20°、45°或90°。BC-K系列平面使用角度范围为2英寸至12英寸。
    (操作角度固定;改变操作角度需修改主机。)
  • 导向塞具有缓和的锥形,晶圆边缘在某一点与点接触。
  • 由防静电聚碳酸酯制成的导环便于目视定位和吸力状态确认。
  • 主体使用导电尼龙树脂以减轻重量。
  • 它在两面都支持图案印刷,能够处理50微米的薄晶圆,操作困难。
  • 我们还提供针对目标物品量身定制的产品,如方形。
硅片非接触式伯努利Chuck BC系列产品图像2的特点

由于伯努利凸轮在高压下工作,出于**考虑,请像使用一样,将按钮朝下使用。 (请参考左侧图片。) )
*现做

使用伯努利调头,你需要一个至少9升容量的压缩机和调节器。
(我们不销售这些产品。)

伯努利无接触输送机 查克

用于平面放置

平面置入产品图片
材料
主体:导电MC尼龙
导向环:防静电聚碳酸酯
配件
导电管 6×4(1.5米)
使用角度
20° / 45° / 90°
兼容晶圆尺寸 代号。 气压(MPa) 质量 (g)
2英寸 BC-K2 0.1 50
3英寸 BC-K3 0.1 70
4英寸 BC-K4 0.1 80
5英寸 BC-K5 0.2 100
6英寸 BC-K6 0.2 120
8英寸 BC-K8 0.2 170

平面使用时,支持300微米或更低

平面放置 兼容300微米或更小的产品图像
材料
主体:导电MC尼龙
导向环:防静电聚碳酸酯
配件
导电管 6×4(1.5米)
使用角度
20° / 45° / 90°
兼容晶圆尺寸 代号。 气压(MPa) 质量 (g)
6英寸 BC-K6-300 0.2 170
8英寸 BC-K8-300 0.2 220
12英寸 BC-K12-300 0.4 430

Protos 载体:支持300微米或更低

Protos 载体兼容 300 微米或更小 产品图像
材料
主体:导电MC尼龙
导向环:防静电聚碳酸酯
配件
导电管 6×4(1.5米)
使用角度
20° / 45° / 90°
兼容晶圆尺寸 代号。 气压(MPa) 质量 (g)
6英寸 BC-P6-300 0.2 180
8英寸 BC-P8-300 0.2 240
12英寸 BC-P12-300 0.4 450

克莱因·伯努利

桌面伯努利产品图片

新开发的**吸力段采用防静电塑料制成,吸附效率*佳的结构通过精密加工加工完成。
当气体通过垫片表面的喷嘴孔喷射时,气体的粘度会使工件向上抬起,从而产生伯努利效应的吸力。 采用这一技术的开创性产品是桌面伯努利系统。

  • 低压空气通过推杆表面带有仰角的小孔注入,当靠近工件时,伯努利效应会将工件拉起并吸引它。 由于是非接触式的,运输时可以不损坏工件。
  • 控制单元采用铅笔型紧凑空气阀(采用C001型),使操作平顺,触感类似笔。

所用材料

  • 阀体:导电尼龙树脂

(音量电阻值:106Ω)

克莱因·伯努利二世

克莱因·伯努利二世 产品图片

当气体通过垫面喷嘴孔喷射,且体积小于克莱因伯努利机时,气体的粘度会将工件向上抬起,产生伯努利效应产生的吸力。
尺寸15毫米及以下(可能因材质不同而异,请咨询)

克莱因·伯努利 Jr. 专用出水伯努利泵

克莱因·伯努利二世 产品图片

该泵可使用任何配备100V电源的环境,支持非接触式输送。
请与克莱因·伯努利 Jr. 一起使用。
由于是非接触式的,运输时可以不损坏工件。

代码
伯努利泵排放
名称
伯努利泵排放
额定电压
AC-100(50赫兹)
功耗
10.0W
排放压力
50kPa
排放量
5.0升/分钟
规模
长度137×宽88×高133毫米
质量
1.250克
耐力时间
超过9,000小时
工作极限温度
40°C
绘画
查看图纸

*本数据仅供国内规格参考。

伯努利Chuck BC系列晶圆非接触输送机的工作原理

晶圆非接触式传输 伯努利 Chuck BC 系列 工作原理 图片

将晶圆放入导环的四个白色针脚内,按下启动按钮;晶圆会上升并向中心移动。 之后用黑色角销固定,便可无接触地运输。

硅片非接触伯努利Chuck BC系列概述

伯努利Chuck BC系列晶圆非接触式输送机角度概述 图片

◆ 请从三个视角中选择主单元:20°、45°或90°。 通过改变导环,可以适应各种类型的晶圆。 更换导环也很简单。

为了确保您能安心使用真空镊子,我们会进行长期阀门耐用性测试,每天反复开关按钮8小时。
在0.3兆帕的气压下进行。

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