AeroBar 5685®

    

    

具有本质平衡电离的稳态直流离子发射

Simco-Ion技术集团的AeroBar离子器型号5685设计用于控制微型环境、层流罩和工作站中的静电荷。5685型采用独特的空气动力学设计，能够在不干扰层流的情况下电离局部区域。5685型非常适合12-24英寸距离的层流空气应用，采用稳态直流离子发射和Simco-Ion的IsoStat技术®。IsoStat技术保证了本质平衡的电离。不需要复杂的反馈电路来维持平衡，也无需调整。

• IsoStat®技术
• 高离子密度的稳态直流离子发射
• 单晶硅或钛发射点
• 多种长度，包括短11英寸的AeroBar

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规格

电压	输入：24 VAC（±10%），50-60 Hz，*大 3.5W。 输出：7.5 kV（典型）
退伍	±1000V到±100V放电@24英寸，气流量*低60英尺/分钟，25秒或更短时间
平衡	±50V @ 24英寸（61.0厘米），测量在两个极性相反的发射点正下方（5685型号必须安装在离接地表面至少6英寸（15.2厘米）的位置，以实现*佳平衡性能）
离子发射	稳态与IsoStat技术
发射极	钛或单晶硅
无垢室类别	ISO 14644-1 第三类
尺寸	2.07英寸高 x 1.16英寸宽 x 11.4 / 22.4 / 44.4 / 64.4英寸长（52.6 x 29.5 x 29.0 / 56.9 / 112.8 / 163.6厘米）
重量	每英尺杠铃长度0.56磅（每30.5厘米0.256公斤）

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目标市场

• 后端半导体加工
• 前端半导体制造

目标应用

AeroBar 5685 设计用于控制微型环境中的静电放电和颗粒污染，这些环境在不适合强制空气的场所，如晶圆处理站。

AeroBar 5685 设计用于控制晶圆检测区等微型环境中的静电放电和颗粒污染。