晶圆图案检测、 对准、空隙和缺陷检测
● 近红外(1000 nm 或更高)聚光照明 ● 辐照度比传统产品 增加约 3~12 倍 ● 高强度,自然风冷
* 请注意,由于产品改进,规格可能会发生变化
* 显示的数据是参考示例,不保证产品的质量。