长处

■与外部传感器（NOVX 3150/3350/3360/7000等
）结合使用，实现高精度+/-1V离子平衡
（无需外部传感器的+/-3V）
■高清洁度支持
■5802i、5810i 和 5822i 型离子发生器鼓风机专为洁净室应用而
设计，采用
符合 ISO 4 级（Fed Std 209E 10 级）的高洁净度设计
■ 独特的
自动离子平衡控制延长
维护周期 ■风扇停止警报
■自动电极清洁机构选项
■
全球多次交货可靠的本地支持

规范

输入电压	100-240V 交流 +/-10% 50/60Hz
装甲	铝上的环氧树脂/聚酯粉末涂料
离子生成方法	稳态直流系统
电极	8 个钛瓶/风扇
气流	144cfm 典型值/风扇风扇速度 = 高
断电时间	<3秒 45cm 距离.1kv → 100v. 晶圆厂速度 = 高
离子平衡	<+/-1V（典型值）（带外部传感器）+/-3V（不带外部传感器）
大小	-32：高 96 毫米 x 深 155 毫米 x 长 813 毫米 -40：高 96 毫米 x 深 155 毫米 x 长 1016 毫米 -44：高 96 毫米 x 深 155 毫米 x 长 1118 毫米
重量	-44：铝制机身规格 4.6 kg

产品名称：日本SIMCO思美高+/-1V 离子平衡顶置鼓风机 5810 型风机代理

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