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产品详情
简单介绍:
通过将隔膜安装在封闭空间中,可以分两个阶段降低压力,并且由于它具有串联结构,因此我们实现了一种机构,可以获得大约是FV-30两倍的流量。
HEPA过滤器安装在进气和排气部分。 它也可以用于洁净室。 此外,从主体的透明窗口可以看到过滤器,因此您可以知道何时更换它。
处理范围相当于硅晶圆,限制为 12 英寸。
管子可用于 Φ3×5、Φ4×6 尺寸。
所含管为Φ3×5。
详情介绍: