产品信息

5635型Aerobar MP电离器是一款超低颗粒兼容产品，专为静电应用开发，适用于需要100纳米或更小微颗粒管理的应用，如先进半导体制造工艺。

特色

■单晶硅电极在全球范围内拥有****的使用记录，具有超低颗粒特性，避免
了电极材料对金属污染的风险 ■ 高静电去除性能
，利用独特的脉冲调制（MP）方法高效将离子输送到靶材 ■即使在100毫米距离内也能使用小电位摆动特性，以及横杆长度的低偏置离子平衡
■ 智能控制电路自动管理
离子生成状态和离子平衡 ■ 可更换电极可在1/4旋转时安装和拆卸，有助于

■ MP系统具有极小的电位摆幅，便于安装此外，小电位波幅有助于
保持长期离子平衡在控制标准内 ■ 半导体前工艺的EFEM
长度对应的棒 ■紧凑设计
，内置24V直流驱动控制器 ■全球高水平支持网络

规格

5635 AeroBar MP 型号

输入电压	24V 直流 +/-10%
输出电压	*高可调电压可调至约13.5kV p-p
安装距离	100mm~1000mm（无空气净化）
离子生成方法	电晕放电MP （脉冲调制）调制频率 1 ~ 33 Hz
离子平衡	自动平衡方法 <+/-10V 正下方位置差异 <+/-10V （600毫米距离）
电极	单晶硅电极可互换
净化气体	干净的干空气或氮气
*大净化压力	310Kpa
臭氧含量	<0.05ppm（24小时累计值）
信号输出	AlarmIO 开集电极输出
尺寸	高度：78毫米 x 深度 34毫米 × 长度 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750 /1900/2050/2200/2350毫米
外观	ABS树脂

什么是扩展ISO1,10nm级？
扩展ISO 1.10纳米级这是ION Systems独立制定的洁净度定义，用于支持微粒管理。 ISO14644-1被定义为*小100纳米的颗粒尺寸。扩展ISO 1.10纳米类使用与ISO14644-1相同的允许颗粒数计算公式，10纳米及以上颗粒尺寸允许的颗粒数为1200 pc/m3（34 pc/ft3）

产品名称：日本SIMCO思美高扩展ISO 1.10纳米巴电离器 AeroBarMP代理

产品信息

5635型Aerobar MP电离器是一款超低颗粒兼容产品，专为静电应用开发，适用于需要100纳米或更小微颗粒管理的应用，如先进半导体制造工艺。

特色

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