产品信息

5225型气动棒离子器是一种棒式离子器，专为半导体等超洁净工艺设备设计。

特色

■单晶硅电极在全球****的使用记录中拥有**表现，具有超低颗粒特性，避免
电极材料对金属污染的风险 ■脉冲直流系统实现广泛的静电去除能力
■通过全数字电路控制，实现更稳定的离子生成和长期离子平衡
■在离子子靶附近安装外部5200-SR传感器（可选）可在离子子靶附近反馈控制离子平衡，而非电离子本身（若未连接5200-SR，则内置传感器于离子器体内） ■ 离子平衡自动调整）
■ 根据EFEM设定
半导体前工艺的条长 ■ 离子产生输出、离子生成时间、报警阈值等参数可设置广泛范围，使其适合
长距离应用和气流较弱环境 ■ 通过数值输入参数即可实现高复现性，设置时间短
■ 除了简单的报警输入输出外，还可利用免费提供的DLL实现实时监控，有助于了解工艺设备状态

规格

5225 AeroBar 型号

输入电压	由24V交流电、50/60Hz、1W型IM6T供电。
交流形式	RS485（介于IM6T~5225之间）
输出电压	0kv~约 +/-20kv
输出形式	脉冲直流模式，稳态直流模式（可选）
输出电流	< 15微 A 内部电流与电压限制电路
连接连接器	RJ11,4极4芯
离子生成时序	小0.1秒，大10秒可分别配置正负
电极	单晶硅电极可互换
臭氧生成	<0.005ppm（24小时累计测量）
清洁度	ISO1类，0.1微米
尺寸	高度53毫米 × 深度 31毫米 × 长度 569毫米（-22）、721毫米（-28）、 907毫米（-36）、1128毫米（-44）、1412毫米（-56）、1636毫米（-64）、 1918毫米（-76）和2144毫米（-84）
重量	-22：每增加1.02公斤长度0.17公斤/30厘米
外观	ABS树脂

接口模块型号 5200-IM6T

输入电压	24V 直流 +/-5%，1.5A
交流形式	以太网，RS232C
报警输出	继电器触点（**V4.0及以后版本）
尺寸	高度 74毫米 × 深度 71毫米 × 长度 315毫米
重量	2公斤

产品名称：日本SIMCO思美高超清洁工艺设备 型号5225 AeroBar代理

产品信息

5225型气动棒离子器是一种棒式离子器，专为半导体等超洁净工艺设备设计。

特色

规格

产品名称：日本SIMCO思美高超清洁工艺设备型号5225 AeroBar代理