产品详情

查看大图

产品名称：日本SIMCO思美高超净环境/AeroBar 5635M MP离子器代理
产品型号：AeroBar 5635M MP®
产品厂商：日本SIMCO思美高
产品价格：0
折扣价格：0
产品文档：

你添加了1件商品查看购物车

简单介绍：

规格输入电压输入：24伏直流±10%功率输入 RJ-45;0.7A（*大）输出：13.5 kV p-p（*大），可调退伍 ±1000-100V，15秒内，无气助，Vp-p在发射中心点组下方24英寸处摆动80 平衡 <±35V在受控环境下、距离18英寸测量离子发射调制脉冲（MP）技术发射极 ISO 14644-1 一类单晶硅无垢室类别 ISO 14644-1（0.1微米颗粒）和扩展ISO 1级清洁度（10纳米颗粒或纳米颗粒），使用45-50%输出电压设定和配备单晶硅发射器的OpenJet喷嘴尺寸 3.1英寸高 x 1.3英寸宽 x 13.8 / 17.7 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5英寸长（7.8 x 3.4 x 35

详情介绍：

带宽可调性及ISO 14644-12电离的调制脉冲技术

Simco-Ion技术集团的5635M AeroBar MP电离棒专门设计用于半导体及其他超洁净制造工艺中，这些工艺需要快速放电时间、低摆动电压和精密平衡，但不允许裸露金属表面。AeroBar采用MP技术，将高频正弦波与调制脉冲（MP）结合，实现高离子输出和传输。这一突破性技术使AeroBar能够安装在晶圆150毫米范围内。MP技术结合超洁净硅发射点和精密调节，实现ISO 14644-12电离（0.01微米颗粒或纳米颗粒）和ISO 14644 1类（0.1微米颗粒）的清洁度，这对小型技术节点至关重要。

ISO 14644-12（0.01微米颗粒）电离和
ISO 14644一类（0.1微米颗粒）清洁度
调制脉冲技术
无金属设计“M”
横向均匀性**
低场电压
空中助推能力
可选软件，界面易用且可调节性宽广
报警输出信号

产品名称：日本SIMCO思美高超净环境/AeroBar 5635M MP离子器代理

带宽可调性及ISO 14644-12电离的调制脉冲技术