日本SIMCO思美高Novx 7000系列 |过程监控代理工作站和工艺环境中的关键静电参数监测藤田（重庆）精密仪器设备有限公司

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产品名称：日本SIMCO思美高Novx 7000系列 |过程监控代理
产品型号：工作站和工艺环境中的关键静电参数监测
产品厂商：日本SIMCO思美高
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简单介绍：

工作站和工艺环境中的关键静电参数监测 Simco-Ion技术集团的Novx Series 7000工艺监测系统是一种多用途的微处理器仪器，用于监测工作站和工艺环境中的关键静电相关参数。六个专用通道可定制仪器，用于监测场电压检测/电离平衡、静电干扰事件、体电压检测或接地监测及粒子计数。智能信号处理多种传感器和天线样式雏菊链式;RS-485 或以太网输出静电检测事件跟踪现场电压监测的三种选择用户可编程的报警设置点，配备自动消息闭环控制到工具计算机插拔式模块允许出厂升级

详情介绍：

规格

场感

输入电压 ±15 - ±5000V

输出电压 0 - ±5.0

准确性 ±1V，<20V;±5% >20V

静电事件检测 CDM / HBM

粒子计数器接口数据采集

体压检测

施加电压 <0.5V

准确性 ±0.5V

GND监测

分布范围 1-20欧姆

施加电压 <0.5V

准确性 0.5欧姆

概述

尺寸 2.7宽 x 7高 x 5.5深。（6.9 x 17.8 x 14 厘米）

重量 2.5磅（1.4公斤）

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场感
输入电压	±15 - ±5000V
输出电压	0 - ±5.0
准确性	±1V，<20V;±5% >20V
静电事件检测	CDM / HBM
粒子计数器接口	数据采集
体压检测
施加电压	<0.5V
准确性	±0.5V
GND监测
分布范围	1-20欧姆
施加电压	<0.5V
准确性	0.5欧姆
概述
尺寸	2.7宽 x 7高 x 5.5深。（6.9 x 17.8 x 14 厘米）
重量	2.5磅（1.4公斤）


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产品名称：日本SIMCO思美高Novx 7000系列 |过程监控代理

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