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产品详情
简单介绍:
真空泵 FV-60,日本FLOURO 福乐(真空泵 FV-60)现货
详情介绍:
FV-60



- 通过将隔膜安装在密封空间中,压力分两阶段降低,结构为串联结构,流量约为FV-30的两倍。
- 进气和排气区安装了HEPA过滤器。 它也可以用于无尘室。 此外,过滤器可以通过主体的透明窗口直观查看,因此你也能知道何时更换它。
- 其处理范围相当于硅晶圆,推荐范围可达12英寸。
- 管子可以制成Φ3×5和Φ4×6两种尺寸。
- 随附的管子是Φ3×5。
| 代码 | FV-60 |
| 名称 | 真空泵 FV-60 |
| 额定电压 | AC-100V(50Hz) |
| 功耗 | 10.0W |
| 达到吸力压力 | -80kPa |
| 流量 | 2.5升/分钟 |
| 规模 | 长度137×宽88×高133毫米 |
| 质量 | 1.250克 |
| 耐力时间 | 超过9,000小时 |
| 工作极限温度 | 40°C |
| 配件 | 1个L形接头 / 管子 3×5 1米 |
| 绘画 | 查看图纸 |
注1:泵流量和吸力压力值显示在50Hz。 在60Hz使用时,降低率约为20%。
*本数据仅供国内规格参考。