产品详情
  • 产品名称:日本SIMCO思美高AeroBar 5225电离系统®代理现货

  • 产品型号:数字气管5225型号
  • 产品厂商:日本SIMCO思美高
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简单介绍:
日本SIMCO思美高AeroBar 5225电离系统®代理现货
详情介绍:

AeroBar 5225电离系统®

AeroBar 5225 ISO 1类软件控制静电离棒

        

    

无尘室兼容高离子输出,实现快速中和

    带软件控制的数字气管5225型号设计用于应对工具内电离的严格要求。通过高离子输出迅速中和晶圆上的电荷,E78合规性可在*严格的水平下实现。

    空气动力学设计和洁净室兼容材料使5225型能够在微型环境中实现完整高效的电离,同时不干扰层流气流。

  • 与刀具控制系统完全集成
  • 每个AeroBar的参数可完全调节
  • 离子电流监测
  • 有多种长度可选,其中3种专为EFEM设计
  • 单晶硅发射点

接口模块型号 5200-IM6T

支持*多6个AeroBar 5225型离子器,FMS输出。

 

 


如需了解更多关于AeroBar 5225电离器或其他用于静电控制和颗粒污染控制的电离解决方案的信息,请联系销售服务部

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