产品名称：日本Otsuka大塚Smart膜厚仪（可携带至现场的手持式）

品信息

特点

● 可携带至现场的手持式

● 可测量0.1μm单位

● 具有形状的样品也可非破坏的测量

● 不论基材材质、可测量其镀膜

测量项目

Smart手持式膜厚仪与其他膜厚仪的比较

●与桌上型光学膜厚仪相比，Smart膜厚仪在“现场”以非破坏式直接量测样品，且可以量测特殊形状样品。

●与接触式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不仅不会破坏您的样品，也不会因用户不同而产生误差且远高于接触式膜厚的量测精度。

●与涡电流/电磁式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不需要制作检量线，且可以量测非金属基材并且得到**值！

不需要量测经验，可快速得到精准的膜厚结果。

规格样式

选配

笔型探头

能够测量狭窄区域或形状的样品。 探头**Φ6mm。

非接触式载台

对于湿膜或半导体晶圆等不想接触的样品，可以通过自由设定探头位置进行非接触测量。

使用场景

产品开发-量测试作品

1.携带到合作厂商等，直接在现场量测效率Up

2.试作阶段的检查方法商定效率Up

产线-设定产线参数、提高良率

1.现场可直接量测，无须准备，量测时间短、效率Up

2.产品检查的早期阶段发现问题，事后的对策更加灵活

质量管理-品管效率Up

1.现场可直接量测高精度量测成品，尽早发现**品异状

2.事后的对策可更加灵活

After Service-活用可携带的优点

在产品出货后的客户端也可直接带去量测。

现场较难量测的立体物、无法切割破坏的样品（例如：窗户的Coating等）。